Автор работы: Пользователь скрыл имя, 22 Декабря 2011 в 22:52, реферат
Эксимерный лазер — разновидность ультрафиолетового газового лазера, широко применяемая вглазной хирургии (Кератэктомия) и полупроводниковом производстве.
Класс импульсных газовых лазеров, объединенных названием ”эксимерные” возник сравнительно недавно, в начале 70-ых годов. В настоящее время эксимерные лазеры на галогенидах благородных газов являются наиболее мощными источниками когерентного излучения в УФ-области спектра, генерация получена на большом количестве длин волн от вакуумного ультрафиолета до видимой области спектра.
Наилучшие результаты в настоящее время получены на квазимолекулах хлорида ксенона. При длине резонатора 100 см и импульсном рабочем напряжении 40 - 50 кВ получена средняя мощность излучения 1 Вт при частоте следования импульсов 100 Гц. Полный КПД лазера составляет 0,1% при работе в частотном режиме и 0,5% при работе в режиме одиночных импульсов. Импульсная мощность излучен6ия в рассматриваемом случае составляет несколько сотен киловатт при длительности импульса 1 - 20 нс. Состав рабочей смеси меняется от импульса к импульсу, что приводит к необходимости его смены в промежутках между последующими импульсами.
Таблица 2.
Параметр | Способ накачки | |||
Электронный пучок | Электрический разряд с предионизацией электронным пучком | Быстрый электрический разряд | Двойной электрический разряд | |
Энергия импульса, Дж | 100 | 10 | 10-2 | 10-2 |
Удельный энергосъем, Дж/л | 3 - 30 | 3 - 5 | 1 | 0,1 - 1 |
Максимальная частота повторения, Гц | 100 | 100 200 | 1000 | 200 |
КПД,% | 1 - 2 | 0,3 | 0,25 | 0,1 - 0,5 |
Средняя мощность, Вт | 10 | 2 - 10 | 0,1 - 2 | 1 |
Наилучшие
результаты при возбуждении электронным
пучком получены на молекулах KrF* и ArF*,
при возбуждении электрическим разрядом
с предионизацией и при быстром поперечном
электрическом разряде - на молекулах XeF*,
а при возбуждении двойным электрическим
разрядом - на молекулахXeCl*.
Список используемых источников:
Активной средой эксимерного лазера являются молекулы газа. Но, в отличие от лазеров на CO, CO2 или N2, генерация в эксимерных лазерах происходит не на переходах между различными колебательно-вращательными состояниями, а между различными электронными состояниями молекул. Существуют вещества, которые в основном состоянии не могут образовывать молекулы (их частицы в невозбужденном состоянии существуют лишь в мономерной форме). Это происходит, если основное состояние вещества соответствует взаимному отталкиванию атомов, является слабосвязанным, либо связанным, но при наличии больших межъядерных расстояниях (рис.1).
Рис 1.1: а - резко отталкивательная кривая; б - плоская кривая; в - кривая связанного состояния на больших межъядерных расстояниях
Молекулы рабочего вещества эксимерных лазеров грубо можно разделить на два вида: образованные частицами одного и того же вещества и частицами двух различных веществ. В соответствии с этим сами активные среды можно назвать "эксимеры" (excimer, excited dimer - возбужденный димер) и "эксиплексы" (exciplex, excited complex - возбужденный комплекс).
Процесс
получения генерации в
Рис 1.2. Энергетические уровни эксимерного лазера.
Поскольку
кривая потенциальной энергии
Этот
переход характеризуется
При переходе молекулы в основное состояние в результате генерации она немедленно диссоциирует;
Не существует четко выраженных вращательно-колебательных переходов, и переход является относительно широкополосным.
Если инверсия населенностей не достигается, то наблюдается флюоресценция.
Если нижнее состояние является слабосвязанным, то молекула в этом состоянии претерпевает быструю диссоциацию либо сама (предиссоциация), либо вследствие первого же столкновения с другой молекулой газовой смеси.
В настоящее время получена лазерная генерация на ряде эксимерных комплексов - квазимолекулах благородных газов, их окислах и галогенидах, а также парах металлических соединений.
Министерство образования и науки, молодежи и спорта Украины
Харьковский
национальный университет радиоэлектроники
Кафедра
БМЭ
Реферат
на тему:
«Эксимерные лазеры, область использования
и накачка»
Выполнил: | |
ст. гр. БМИ-08-1 | |
Прасол И.А. |
Харьков 2011