Автор работы: Пользователь скрыл имя, 09 Ноября 2012 в 10:25, статья
В настоящей статье показана возможность получения однородных слоёв твердого раствора Gex Si1-x различного состава на кремниевых подложках большого диаметра методом микроразмерных ростовых ячеек.