Гібридні інтегральні мікросхеми

В даній курсовій роботі розкрита тема «Гібридні інтегральні мікросхеми». Розкрито будову, способи виготовлення та основні проблеми при виготовленні гібридних інтегральних мікросхем.
Дана робота містить два розділи: «Підкладки та елементи гібридних інтегральних мікросхем» (містить два підрозділи) та «Технологія виробництва гібридних інтегральних мікросхем» (містить чотири підрозділи). В роботі присутні: одна таблиця та десять рисунків.

Вступ…………………………………………………………………………………..4
1 Підкладки та елементи гібридних інтегральних мікросхем…………………....5
1.1. Підкладки ГІМС…………………………………………………………..5
1.2. Елементи ГІМС……………………………………………………………6
2 Технологія виробництва гібридних інтегральних мікросхем…………….......14
2.1. Технологія виробництва тонко-плівкових гібридних інтегральних мікросхем…………………………………………………………………………….14
2.2. Технологія виробництва товсто-плівкових гібридних інтегральних мікросхем…………………………………………………………………………….18
2.3. Нанесення тонких плівок вакуумі………………………………………19
2.4. Нанесення товстих плівок……………………………………………….23
Висновки……………………………………………………………………………….28
Список літератури…………………………………………………………………….29