Автор работы: Пользователь скрыл имя, 24 Марта 2012 в 19:35, доклад
ЛАЗЕРНИЙ ВІДПАЛ - у вузькому, первонач. сенсі відновлення під дією лазерного випромінювання кристаллич. структури приповерхневих шарів напів-провідників, порушеною іонною імплантацією; від-крити в 1У75 в СРСР [1]. Під Л. о. в широкому сенсі розуміють структурні зміни, що виникають на поверхні напівпровідників, металів і діелектричної ков під дією як імпульсного, так і безперервного лазерного випромінювання.