Автор работы: Пользователь скрыл имя, 26 Сентября 2013 в 20:02, курсовая работа
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) ~ интегрированные устройства или системы, рассматриваемые на микроу¬ровне, которые объединяют в себе механи¬ческие и электронные компоненты с помощью группового метода изготовления интегральных схем. МЭМС способны обнаруживать, контролировать и активи¬зировать механические процессы для выполнения сложных функций по инфор-матике.
Рис. 6. Электростатический привод
Рис. 7. Электромагнитный привод
4.4 Электродвигатели
Это довольно сложные микромеханичесю устройства, состоящие из большого числа деталей. Подобно линейным приводам электродвигатели используют элею ростатический или электромагнитны принцип преобразования электрическо энергии во вращающий момент. За счет малых размеров подвижных частей микродвигатели способны развивать обороты, достигающие 300~350 тыс. об./мин.
Электростатические двигатели (рис. 8) состоят из расположенного в центре свободно вращающегося ротора, окруженного электродами, образующими своеобразные полюса статора, на которые поочередно подаются потенциалы, вызывающие вращение ротора.
Электромагнитные двигатели имеют похожее строение. Но в них каждый полюс статора является электромагнитом (рис. 9). Поочередно пропуская электрический ток через обмотки, можно получить вращающееся магнитное поле, приводящее ротор в движение.
Рис. 8. Электростатический двигатель
Рис. 9. Электромагнитный двигатель