Автор работы: Пользователь скрыл имя, 19 Октября 2012 в 23:00, отчет по практике
Микроэлектроника относится к числу приоритетных отраслей промышленности и во всех развитых странах является важнейшим направлением научно-технического прогресса. Одним из восточноевропейских лидеров в производстве электронных компонентов является ОАО «Интеграл». ОАО «Интеграл» образовано в 1962 году на базе трех родственных предприятий города Минска. Объединение «Интеграл» – это комплекс предприятий и конструкторских бюро, обеспечивающих полный цикл создания изделий – от этапа проектирования до серийного производства.
Введение 3
Общая схема технологического процесса изготовления интегральных микросхем 4
Роль и назначение технологической операции 5
Теоретические основы метода выполнения технологической операции 7
Техника проведения технологической операции 9
Служба охраны труда и окружающей среды 16
Планово - экономический отдел 36
Отдел организации труда и заработной платы 38
Функции службы маркетинга 39
Индивидуальное задание. Разработка ТП скрайбирования пластин (алгоритм ТП) 40
Выводы 46
Литература 47
Нормативная документация 48
щелочей, солей и их смесей. В кислотнощелочные воды сбрасываются разбавленные неорганические кислоты, щелочи и их соли, соли тяжелых металлов. При этом общее содержание тяжелых металлов в водах, поступающих на заводские очистные сооружения, не должно превышать 40 мг/л при РН от 2 до 10.
Не сбрасываются отработанные
концентрированные растворы кислот,
щелочей, электролитов, травителей на
основе концентрированных кислот
или щелочей. Перед сбросом эти
растворы подлежат сильному разбавлению
водой в соотношении 1 : 10 или нейтрализации.
Категорически запрещается
Фторсодержащие сточные воды образуются в ряде технологических процессов, в которых используются фтористоводородная кислота, фторид аммония, борфтористоводородная кислота и другие вещества, содержащие фторы. Содержание ионов F- в сточных водах, поступающих на очистные сооружения, не должно превышать 400 мг/л. Концентрированные растворы HF, NH4F, HBF перед сбросом с стоки разбавляют водой в соотношении 1 : 10.
Во фторсодержащие сточные воды сливают растворы неорганических кислот и щелочей при условии отсутствия в них ионов тяжелых металлов. Сброс отработанных неорганических кислот H2SO4; НCl; HNO3 после получения гальванических покрытий и травления металлов не производится.
Хромсодержащие сточные воды образуются на гальванических участках цехов в процессах хромирования, пассивации, травления, обезжиривания, в которых используются различные растворы и электролиты, содержащие соединения хрома. Допустимое содержание ионов (III) и (YI) в сточных водах, поступающих на заводские очистные сооружения, 120 мг/л. В хромсодержащих сточных водах допускается незначительное содержание ионов тяжелых металлов. Сброс фторсодержащих отходов в хромсодержащие сточные воды не производится. Концентрированные хромсодержащие отходы собираются и сдаются на сборный пункт участка очистных сооружений.
Таблица 9.1 Максимально допустимое содержание вредных веществ в сбрасываемых сточных водах.
Наименование вещества ПДК |
мг/л |
Силикат натрия |
50,0 |
Фреон-12 |
10,0 |
Перхлоратаммония (NH4ClO4) |
5,0 |
Медь (Cu2+) |
1,0 |
Селен (Se 6+) |
0,001 |
Фтор (F-) |
1,5 |
Формальдегид |
0,05 |
Молибден (Мо 6+) |
0,5 |
Аммиак |
2,0 |
Бензин |
0,1 |
Бериллий (Be2+) |
0,002 |
Поверхностноактивные вещества |
0,5 |
Мышьяк (As3+) |
0,05 |
Четыреххлористый углерод |
0,3 |
К жидким органическим отходам относятся отработанные органические растворители, их смеси, масла, фоторезисты, эмульсии, углеводороды, спирты, кетоны и т.д., загрязненные различными веществами и непригодные для дальнейшего использования в техпроцессах. Органические отходы категорически запрещается сбрасывать в сточные воды. Отходы органических веществ собираются в специальные емкости, а затем - сжигаются или регенерируются.
Газообразные отходы являются загрязнениями различными веществами воздух, отходящий от технологического оборудования по ходу технологического процесса и удаляемый через вентиляционные системы.
Принята следующая классификация атмосферных выбросов по
агрегатному состоянию:
1) газо- и парообразные выбросы CO, NO, NO2, F-, Cl2, H2S, HCl, NH3, органические соединения и др.
2) жидкие выбросы:
- кислоты (супертонкий туман O < 0,5 ·10-6 мкм);
- щелочи (тонкодисперсный туман O (0,5 ∙ 3) ·10-5 мкм);
- растворы солей (
- органические соединения (брызги O >10 ·10-6 мкм).
3) твердые выбросы:
- канцерогенные вещества O < 1 ·10-6 мкм (Hg, Cr, Ni, CO, As, Be);
- свинец и его соединения O < 1 ·10-6 мкм;
- органическая пыль O (1 ∙10) ·10-6 мкм;
- сажа O (10 ∙50) ·10-6 мкм;
- смолистые вещества O > 10 ·10-6 мкм;
- прочие вещества O > 50 ·10-6 мкм.
4) смешаные выбросы.
Воздух, удаляемый общеобменной вентиляцией и местными сбросами и со-держащий вредные вещества перед выбросом в атмосферу подлежит очистке, обеспечивающей требования ПДК вредных веществ в атмосферном воздухе населенных пунктов. С целью предотвращения загрязнений атмосферы, улавливание паров и аэрозолей кислот чаще всего производится с помощью фильтров ИФ-10 с эффективностью очистки 96 %.
9.3 Мероприятия по охране окружающей среды
Основными мероприятиями являются:
- не объединяют в общую вытяжную установку отсосы пыли и легкоконденсирующихся паров, веществ, создающих при взаимодействии вредные химические соединения и их смеси;
-при разработке технологического процесса, по ходу которого возможно выделение вредных веществ в воздух, предусматривают использование газопылеулавливающего оборудования;
-при разработке новых технологических процессов учитывают следующие требования с целью снижения уноса вредных веществ в воздух:
- по возможности исключают
применение барботажа и
- стремятся к снижению
температуры технологических
- не применяют, где это возможно, летучие вещества 1-го и 2-го классов опасности и заменяют их на нетоксичные и малотоксичные;
- снижают площадь открытых поверхностей ванн с летучими веществами;
- применяют добавки к технологическим растворам с целью образования защитного слоя на открытых поверхностях для снижения испарения веществ;
- избегают сочетания веществ, которые при реакции дают токсичные газообразные отходы;
- снижают концентрации летучих веществ, применяемых в процессах;
- заменяют летучие вещества малолетучими.